2*3 mm gat Títan stækkað möskva með Ir-Ta húðun fyrir hálfleiðarahúðun

2*3 mm holu títan stækkað möskva með Ir-Ta húðun fyrir hálfleiðarahúðun er framleidd úr ASTM B265 Grade 1 hreinu títanplötu. Ólíkt stimpluðu möskva, skapar stækkað smíði samfellt demantur-laga op-hér tilgreint sem 2mm × 3mm-án efnistaps eða soðinna gatnamóta, sem varðveitir meðfædda tæringarþol títan undirlagsins og burðarvirki. Stækkunarskrefið stillir þræði í stýrðu horni, eykur virkt yfirborðsflatarmál á sama tíma og viðheldur samræmdri straumdreifingu yfir rafskautsflötinn. Fyrir notkun á hálfleiðarahúðun þýðir þessi rúmfræði beinlínis stöðugt raflausnflæði í gegnum rafskautið, lágmarkað loftbóluhald og stöðugar rafsviðslínur, allt mikilvægt til að ná undir-míkrónhúðun einsleitni á yfirborði-flöts. Eftir stækkun fer möskvan í gegnum stranga basíska fituhreinsun og sýruætingu til að fjarlægja innfædd oxíð, sem tryggir vélræna festingu fyrir síðari blönduðu-málmoxíðhúðina.

Iridium-tantal (Ir-Ta) oxíðhúð er borið á með varma niðurbroti forefnissölta, sem gefur af sér víddarstöðugt rafskaut (DSA) sem er sérstaklega hannað fyrir súrefnisþróun í brennisteinssýru-undirstaða raflausna sem innihalda snefilklóríð sem finnast í háþróuðum efnaklórefnum{{3} málunarböð. 2*3mm holu títan stækkað möskva með Ir-Ta húðun fyrir hálfleiðarahúðun skilar súrefnisþróun allt niður í 1.385V miðað við kvikasilfursúlfat viðmiðunarrafskaut, sem dregur beint úr frumuspennu og orkunotkun í pulse periodic reverse (PPR). Ir-Ta samsetningin sýnir yfirburða mótstöðu gegn rafskautsupplausn við háan-straum-þéttleikapúls sem eru algengir í kopardamasceferlum, þar sem húðun sem byggir á ruthenium- myndi verða fyrir hraðari niðurbroti.

Að auki kemur tantaloxíðhlutinn stöðugleika á húðunarbygginguna og lengir endingartímann umfram 36 mánuði undir dæmigerðum hálfleiðurum-til-húðunarferlum. Hver möskvalota er skoðuð með sjálfvirkum sjónkerfum á fletju- og frágangsstigum, sem vottar þykktarþol innan ±0,05 mm og brúngrautlausar snið- sem eru samhæfar við sjálfvirka meðhöndlun málunarverkfæra. Niðurstaðan er -mengunarlaus rafskaut sem viðheldur víddarstöðugleika, útilokar losun agna og gerir kleift að endurtaka, há-húðunarafköst sem þarf fyrir háþróaða samtengda málmvinnslu.

Frábær tæringarþol í klóríði-sem inniheldur brennisteinssýru

Tantaloxíðhlutinn kemur á stöðugleika í húðunarefninu gegn rafskautsárás í raflausnum sem innihalda snefilklóríð, staðlað aukefni í háþróaðri koparhúðun efnafræði. Títan undirlag helst að fullu óvirkt og útilokar hættuna á koparmengun frá uppleystum grunnmálmi.

Lágmarkað kúlagildrun og bættur fjöldaflutningur

Opna möskvabyggingin gerir þróuðum súrefnisbólum kleift að losna hratt frá yfirborði rafskautsins, dregur úr mótstöðu landalaga og viðheldur stöðugu raflausnarflæði. Stimplaðir möskva eða solid plötuvalkostir sýna meiri gas varðveislu, sem leiðir til staðbundinnar hlífðar og ó-jöfnunar á húðun.

-mengun án aðgerða

Bæði títan hvarfefni og Ir-Ta húðun eru óvirk við húðunaraðstæður. Ekkert blý, antímon eða aðrar leysanlegar tegundir losna út í raflausnina, sem útilokar þörfina á að skipta um rafskautpoka reglulega og dregur úr agnagöllum í undir-10μm eiginleikum.

 

Þykktarþol og burt-lausar brúnir

 

Eftir-þenslufletingu og frágangi er stjórnað með sjálfvirkum sjónkerfum, sem heldur þykktinni við ±0,05 mm af nafnverði og tryggir að allir strengjabrúnir séu afgreiddir. Þetta kemur í veg fyrir vélræna skemmdir á himnuskiljum eða meðhöndlunarbúnaði fyrir oblátur.

Lengdur endingartími

Hröðuð líftímaprófun (ALT) undir 2 A/cm² í 1,5 M H₂SO₄ fer stöðugt yfir 36 mánaða samfellda notkun, með niðurbroti húðunar sem gefið er til kynna með spennuhækkun frekar en skelfilegri bilun, sem gerir fyrirsjáanlega viðhaldsáætlun kleift.

Sérhannaðar rúmfræðilegar breytur

 

Þó að það sé tilgreint sem 2 mm × 3 mm op, leyfir stækkað möskvaferlið sjálfstæða stjórn á strengjabreidd, opnunarhorni og hlutfalli opins svæðis, sem gerir kleift að hagræða fyrir sérstaka hönnun á málmhúðunarverkfærum og vökvaflæðiskröfum án endurgerðarkostnaðar.

• Kopardúka fyrir rökræna hnúta – Rafskautssamsetning í 300 mm málunarverkfærum fyrir tóma-lausa botn-uppfyllingu undir 10nm skurðum; stækkað möskva tryggir samræmda straumdreifingu undir PPR bylgjuformum.

• Í gegnum-kísil gegnum (TSV) fyllingu – fullur-þver-skaut í lóðréttum hólfum fyrir 10:1–20:1 myndhlutfall vias; viðheldur stöðugri súrefnisþróun meðan á langvarandi-straumshringjum-þéttleika stendur.

• Endurdreifingarlag (RDL) á spjaldið-stigum umbúðum – Lárétt hjólhúðunarkerfi; 2×3mm op gera stöðuga raflausn endurrás fyrir<3% thickness variation across 600mm substrates.

• Undir-bump metallization (UBM) fyrir flip-flís – Segmentuð straumstýring í sértækum málmunarverkfærum; húðun þolir reglubundnar öfuga hreinsunarlotur án afkastagetu.

• Innfellt snefilefni (ETS) há-þéttleika samtengingar – Lóðrétt samfelld plata (VCP); rafskautspjaldið nær yfir alla undirlagsbreidd, lágmarkar tog-út og útilokar viðhaldsþvinganir á solidum plötum.

• Gull/nikkel högg fyrir bíla og rafmagnstæki – Há-straums-virkni (3–8 ASD); Lítill ofurmagn dregur úr upphitun raflausna, varðveitir stöðugleika baðsins fyrir 20–100μm högg.

• Rafgreiningar koparþynnu eftir-meðhöndlun – Samfelldar línur fyrir 6–18μm filmu; stækkað möskva gerir kleift að jafna straum yfir 1400 mm vefbreidd í króm--aðlögunarstigum.

• Endurbætur á málmhúðunarverkfærum - Bein skipti fyrir Lam Research, Applied Materials, NEXX kerfi; Ir-Ta húðun skilar lengra þjónustubili yfir upprunalegu rúteníum-skautum.

Sími: 0917-3873009

Sími: +86 18992731201

Netfang:zhangjixia@bjygti.com

Fax: 0917-3873009

Heimilisfang: No. 195, Gaoxin Avenue, High-Tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Kína

WhatsApp: +86 18992731201

maq per Qat: 2*3mm gat títan stækkað möskva með ir-ta húðun fyrir hálfleiðarahúðun, Kína, birgja, framleiðendur, sérsniðin, notkun, verðskrá, til sölu, á lager, ókeypis sýnishorn, gljúpt efni